滲氮化學熱處理可提高機械零件的耐磨性和疲勞強度，改善零件耐介質腐蝕的性能，因而在機械制造業中被廣泛應用。而滲氮層深度檢查是控制滲氨化學熱處理質量的主要檢驗指標之一。滲氮層深度測量常用的方法有金相法和硬度法。金相法即將試樣檢驗面在放大100倍或200倍的顯微鏡下，從試樣表面沿垂直方向測至與基體組織有明顯分界處的距離，即為滲氮層深度；硬度法即采用維氏硬度在規定的試驗力下，從試樣表面測至比基體維氏硬度點高一定值的位置即為滲氮層深度。

滲碳是目前機械制造工業中應用相當廣泛的一種化學熱處理方法,通過對低碳零件的表層進行滲碳,以獲得不同于心部的良好機械性能。為了使滲碳零件都能夠達到預期的性能,作為檢驗滲碳零件的重要手段之精確地測定滲碳層深度是很重要和很有意義的。

表面硬化是指通過適當的方法使零件的表層硬化而零件的心部仍然具有強韌性的處理。通過這種處理，可以改善零件的耐磨性以及耐疲勞性，而由于零件的心部仍然具有良好的韌性和強度，因此對沖擊載荷有良好的抵抗作用。常用的表面硬化處理方法主要有滲碳、氮化、硬質陽極氧化、鍍鉻、表面淬火以及滲金屬等。硬化層深度的測量方法通常有硬度法和金相法。