當一種高能量電子束作用到一個試樣上時會產生X射線，這種X射線隨著試樣中不同的化學組成（原子類別）特征而具有不同的能量（波長）。每種元素的X射線強度與該元素在試樣中的含量相關。本測試正是通過能譜法來檢測這些特征X射線的強度來得到元素的組成和含量。能譜分析的特點：無損傷分析，分析速度快。